物理消毒法包括紫外线、层流式通风过滤除菌等；化学消毒法包括乳酸、甲醛等熏蒸法。紫外线、乳酸、甲醛等临床上常用的传统消毒方法，在此不再赘述。作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低。
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